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石英振梁加速度计
石英振梁加速度计

石英振梁加速度计

外形尺寸:7.5 x 1.5mm

体积≤12x12x4mm³

带宽>800Hz

量程±30g

高精度

高稳定性

基于石英振梁谐振原理,适用于惯性导航、地震检测等高精度场合

产品特点

  • 高稳定性
    高稳定性
  • 高精度
    高精度

产品尺寸

产品尺寸

电性能参数

技术指标石英振梁加速度计
体积≤12x12x4mm³
带宽>800Hz
量程±30g
动态电阻(MΩ)≤1.2
动态电感(KH)≤1.2
动态电容(fF)≤2.0
静态电容(pF)≤1.5
串联谐振频率(kHz)34.5~35.5
Q值2200~2600
串联谐振相位()≥-15


电极绝缘电阻:

采用绝缘电阻仪测量两电极间的绝缘电阻,要求绝缘电阻(50V,>1TΩ)


芯片材料:

芯片的基材:Z 切石英晶片;

石英晶片的晶向:(zyw)0°,切角公差:±5’;

Q 值:300 万以上(A 级);

包裹体密度:Ia 级 无籽晶;

隧道密度:小于 10 条/cm(1 级);

石英晶片为双面抛光,无亮点、麻点等缺陷;

电极薄膜的材料:Cr/Au 双层薄膜,纯度:99.99%,其中底层 Cr 膜的厚度

为(30±5)nm,顶层 Au 

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